レーザーリソグラフィ装置、高出力レーザー技術、最適化スキャン経路、選択可能な焦点距離です。

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レーザーリソグラフィ装置高出力レーザー技術、スキャン経路を最適化し、高効率、高精度を実現するために焦点距離を選択することができ、スキャン経路を最適化し、高効率、高精度、低コストを実現するために焦点距離を選択することができます…